Karolina Danuta Pągowska Plan seminarium Znaczenie związków półprzewodnikowych III-V



Yüklə 445 b.
tarix05.02.2018
ölçüsü445 b.


  • Karolina Danuta Pągowska


Plan seminarium

  • Znaczenie związków półprzewodnikowych III-V

  • Wytwarzanie warstw czyli epitaksja i wzrost epitaksjalny

  • Techniki wzrostu warstw: MOCVD i MBE

  • Metody charakteryzacji:

    • HRXRD
    • TEM
    • RBS/channeling
  • Przykłady 



Znaczenie związków III-V

  • Związki półprzewodnikowe III-V są wykorzystywane do wytwarzania nowoczesnych przyrządów półprzewodnikowych dla

  • mikro- i optoelektroniki.



Związki grup III-V

























Lattice Parameter vs. Bandgap for III-V Compound Semiconductors





Epitaksja



Epitaksja

  • Epitaksja jest procesem tworzenia pojedynczych warstw monokryształu na monokrystalicznych podłożu.

  • Gdy warstwa epitaksjalna i podłoże stanowią dokładnie taki sam materiał to proces epitaksji nazywamy homoepitaksją.

  • Gdy warstwa epitaksjalna różni się od podłoża w jakikolwiek sposób to proces taki nazywamy heteroepitaksją.





MBE – Molecular Beam Epitaxy



Podstawowe metody charakteryzacji heterostruktur

  • HRXRD

  • RBS/channeling

  • TEM





RBS – to skrót pochodzący od angielskiej nazwy metody Rutherford Backscattering Spectrometry (rozpraszanie jonów wstecz)

  • RBS – to skrót pochodzący od angielskiej nazwy metody Rutherford Backscattering Spectrometry (rozpraszanie jonów wstecz)

  • Jest to metoda mikroanalizy jądrowej służąca do badania warstw powierzchniowych materiałów.











Random and aligned RBS/channeling spectra for Al0.4Ga0.6N/GaN structure with 500 nm thick SBL (only the potion of spectrum due to the scattering by Ga atoms is shown).



Depth distributions of displaced lattice atoms due to the dislocation formation in both epilayers deduced from spectra.









Depth distributions of displaced lattice atoms due to the dislocation formation in both epilayers deduced from spectra.



Podsumowanie

  • Związki półprzewodnikowe grup III-V to materiały na bazie, których wytwarzane są współczesne urządzenia mikro- i optoelektroniczne.

  • Należy jednak pamiętać, że nie tylko wytworzenie ale, także charakteryzacja takich materiałów daje dopiero pracujący przyrząd.




Dostları ilə paylaş:


Verilənlər bazası müəlliflik hüququ ilə müdafiə olunur ©genderi.org 2019
rəhbərliyinə müraciət

    Ana səhifə