Optik tolali lazerlar? Ularning kristallarning xossalariga ta’sirini o’rganish

2.2. Tadqiqot uchun olingan namunalarni tayyorlash 
Tadqiqotlar olib borish uchun polikristal xususiyatga ega bo‘lgan mikro- va 
nanotuzilmali kremniy namunalari tanlab olindi. Namunalar tadqiqot talablariga 
mos holda quyidagicha tayyorlandi. 
kremniy namunalarining tuzilishi va morfologiyasini o‗rganish uchun 
namunalar olmos disk yordamida 10x10x10 mm
3
o‗lchamlarda qirqildi. Qirqish 
jarayonida hosil bo‗lgan nuqsonlarni kamaytirish maqsadida namuna sirti maxsus 
olmos pastasi bilan silliqlandi. So‗ngra, qoldiq yog‗ va kirlar an‘anaviy usullarda 
tozalandi.
Namunalarning elektrofizik xossalariga lazer nurlari ta‘sirini o‗rganish 
uchun namunalar yuqoridagi singari olmos disklar yordamida 300 500 
mkm
qalinlikda qirqildi. Sirt yuzalarida hosil bo‗lgan nuqsonlarni kamaytirish uchun 
mahsus olmos pastasi bilan silliqlandi, so‗ngra kimyoviy standart yemiruvchilar 
SR-4 va uning turlari, 1-foiz NF, 5-foiz NNO va 1-foiz uksus kislota aralashmalari 
bilan yemirildi. Yemirilish tezligi kimyoviy yemiruvchilar miqdorini o‗zgartirish 

---

52 
orqali nazorat qilib borildi. So‗ngra, namunalar mahsus olmos disklar yordamida 
10x10 
mm
o‗lchamda qirqiladi. 
 
 
 
 
 
 
 
2.3. Optik tolali lazer yordamida mikro- va nanotuzilmali 
yarimo’tkazgichlarning xossalarini o‘rganish metodi 
Lazer nurlarining mikro- va nanotuzilmali yarimo‘tkazgich xossalariga 
ta‘sirini o‗rganish uchun TISL (ya‘ni, toka, indutsirovannogo svetovim luchom) 
usuli asosida qurilma tayyorlandi (2.8 – rasm) [72]. Ma‘lumki, 
=0,4 1,4 mkm 
to‗lqin uzunlikdagi spektral yorug‗lik nurining qo‗llanilishi kremniyning 100 
mkm
chuqurlikkacha 
bo‗lgan 
xossalarini, 
jumladan, 
uning hajmidagi 
rekombinatsiya faolligini o‗rganish imkonini beradi. Bizning holatda, to‘lqin 
uzunligi 
=0,88 mkm
bo‘lgan lazerlardan foydalanildi. Lazer nurlari dastasi bilan 
mikro- va nanotuzilmalar sirtini yoritish uchun optik tolalardan foydalanildi. Optik 
tolalarning diametri 
10’400 
mkm
oraliqlarni tashkil qiladi. Bu lazer nurlari 
dastasi diametrini 
10’400 
mkm
oraliqlarda o‗zgartirish imkonini beradi. 
Suningdek, qurilmada qizdirish pechi mavjud bo‘lib, u namunalarning yorug‗likka 
sezgirligini turli temperaturalarda o‗rganish imkonini beradi. Lazer nurlari manbai 
qo‗zg‗almas tayanchga mahkamlangan. Namuna o‗rnatilgan o‗rindiq namuna bilan 
birga gorizontal tekislikda x va u o‗qlari bo‗ylab ilgarilanma va qaytma 

---

53 
harakatlanadi. Bu lazer nurlari dastasining mikro- va nanotuzilmalar sirti bo‘ylab 
erkin harakat qilish hamda uning xossalarini o‘rganish imkonini beradi.
2.8 – rasmda mikro- va nanotuzilmalarning lazer nurlariga sezgirligini 
o‗rganish qurilmaning sxemasi tasvirlangan. Qizdirish pechi kuchlanishi NOM-10 
rusumli latr yordamida ta‘minlanadi. Namuna temperaturasi xromel-alyumel 
termoparalar yordamida Sh-300 rusumli qayd qilish qurilmasi yordamida nazorat 
qilinadi. Shuningdek, namunalarning lazer nurlariga sezgirligi ham Sh-300 rusumli 
qayd qilish va unga paralel ulangan o‗zi yozib boruvchi qurilma yordamida 
aniqlanadi. Tadqiqot ob‘ekti termoizolyator (
) bilan o‗ralgan. 
Yarimo‗tkazgichli asboblarning elektrofizik xossalarini o‗rganishda qatlam 
qarshiligini o‗lchash vazifasi muhim ahamiyatga ega. Uni o‗rganish uchun bir 
necha usullar ishlab chiqilgan, jumladan: a) to‗rt zondli usul, (Valdes, Smits, 
Severin); b) sirt qarshiligini o‗lchash usuli, (Xolm, Shumani, Mazur); v) Xoll 
effekti asosida qatlam qarshiligini o‗lchash usuli, (Van-der-Pau); g) omik 
kontaktlar yordamida qatlam qarshiligini o‗lchash va boshqalar [3 10].
Namunalarining solishtirma qarshiligi 4 zondli hamda Van-der-Pau usullari 
yordamida o‗rganildi. Zondlar diametri 0,5 
mm
bo‗lgan volfram simdan 
tayyorlangan. Doimiy tok namunalarga IUS-1 qurilmada ta‘minlanadi, kuchlanish 
Sh-300 rusumli o‗lchash asbobi yordamida nazorat qilib boriladi. Uning o‗lchash 
aniqligi va tezligi tok buyicha 3%, kuchlanish bo‗yicha 5% tashkil qiladi. 
Solishtirma qarshilik ( ) quyidagi formula orqali hisoblandi: