Zamonaviy elektron qurilmalarni sifatli boshqarish texnologiyasi
Yüklə 0,75 Mb. Pdf görüntüsü
|
часть 1 « Научный импульс » Март , 202 3 622 Mikrosxemalarning kristallari nazorat qilinadigan va juda toza havo sharoitlarida ishlab chiqarilishi lozim. Mikrochiplardagi funksional elementlar juda kichik bo‘ladi va shu sababli plastinkaga tushgan har qanday begona kelib chiqishli zarracha (chang, tutun zarrachasi va boshqalar)butun kristallni ishdan chiqarishga qodir bo‘ladi. Zamonaviy yarim o‘tkazgichlarni ishlab chiqarish sanoatida foydalaniladigan 1-klassli “toza xona” lar jarrohlik operatsiyalari o‘tkaziladigan xonalarga qaraganda qariyb ming martaga toza bo‘ladi. «Toza xona» havoning tozaligini filtrlash, qurilmalardan iflosliklarni chiqarib yuborish, havoni shiftdan polga qarab laminar ko‘chirish, harorat va namlikni rostlash bilan boshqaradi. Odamlar “toza xona” larda butun soch qoplamini yopadigan maxsus skafandrlarda, maxsus talab qilinadigan hollarda esa – maxsus nafas olish tizimi bilan yuradi. Vibratsiyalarni bartaraf qilish uchun toza xonalar maxsus vibrohimoyali fundamentga joylashtiriladi. Hozirgi kunda mikrosxemalarning kremniy kristallarida xatolar va muvaffaqiyatsiz joylarni aniqlash va bartaraf qilish uslublari ishlab chiqilgan. Bloklarni ham, kristall yuzasidagi alohida tranzistorlarni ham to‘g‘irlash mumkin. Birinchidan, “yemiradigan” tahlil qilish juda keng qo‘llaniladi. Mikrostrukturalarning ko‘pgina muhim parametrlarini faqatgina yemiradigan usul bilan o‘lchash mumkin. Buning uchun tayyor kristallarda ko‘ndalang kesimlar yoki qirqimlar qilinadi. So‘ngra fizikada ma’lum bo‘lgan uslublar – optik mikroskopiya, skanerlaydigan elektron mikroskopiya, yorug‘likli yuqori yechimli elektron mikroskopiya, rentgen difraksiyasi, atom-kuch mikroskopiyasi va boshqalar qo‘llaniladi. Masalan, skanerlaydigan elektron mikroskopiya – yaratiladigan strukturalar – tranzistorlar, metall qatlamlari va ularning o‘rtasidagi qarshilik kontaktlarining geometrik o‘lchamlarini nazorat qilishning tezkor va qulay uslubidir. Zamonaviy texnologik qurilmalarda bunday mikroskop ion to‘pi bilan to‘ldirilgan. Fokuslangan ion nuri yordamida kristallning kerakli joyida unchalik chuqur bo‘lmagan vertikal ariqcha ochiladi, bu mikrosxemaning yuqorigi qatlamlarining kesimi elektron mikroskopda burchak ostida ko‘rinishi uchun qilinadi. Xuddi shu tarzda strukturalarning ba’zi bir elektron xususiyatlarini ham aniqlash, shuningdek plastinkaning yuzasidagi nuqsonlarning sonini nazorat qilish mumkin. Xuddi shunday tarzda yuqori yechimli mikroskopiyada ham kerakli kesimlar ochiladi, bu ko‘pincha zamonaviy nanotranzistorlarning yechimlarini tahlil qilish uchun qo‘llaniladi. Bu yerda atomar qatlamlarni elementli tahlil qilish ham mumkin — masalan, qatlamda azotning taqsimlanishini o‘lchash mumkin. Yuzani tahlil qilishning an’anaviy uslublari yordamida kremniy qatlamlarining aralashma atomlar bilan legirlanganlik profili o‘lchanadi. Fotoelektron mikroskop zatvorning dielektrigida azotning konsntratsiyasini o‘lchaydi. Atom-kuch mikroskopi yuzalarning g‘adir-budurligini va o‘tirg‘iziladigan material donlarining o‘lchamini aniqlaydi. |