“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
metal atomları məhlula keçir.
Şəkil 4-21. TGX1 düzbucaqlı nizamlanmış (dərəcələnmə) qəfəsin
elektron mikroskopunda (solda) və AQM NanoEducator
cihazında (sağda) alınmış şəkilləri
Şəkil 4-22. TGX1 nizamlanmış (dərəcələnmiş) qəfəsinin iti uclu
massiv şəklində elektron mikroskopunda (solda) və
AQM NanoEductor cihazında (sağda) alınmış şəkilləri
Şəkil 4-23-də göstərilmiş İHQ aşağıdakı kimi işləyir:
Saxlayıcıya(8) bərkidilmiş volfram naqil parçası(1) vint(3)
vasitəsilə ilə yuxarıya və aşağıya yeri dəyişdirilir. Vinti
fırlatmaqla naqil lazımı səviyyədə həlqəyə(2) salınır. Həlqə
naqil nixrom naqilindən hazırlanır və itilənmə prosesində
iştirak etmir. Əvvəlcədən həlqə(2) 5%-li KON və ya NaOH
məhlula salınaraq həlqədə(2) köpük yaranmış olur. Bundan
sonra V hərfi ilə işarə olunmuş dəyişən və ya sabit elektrik
cərəyan mənbəyi işə salınır. Volfram naqilin itilənməsi prosesi
baş verir və iti uclu iynə hazırlanır. İtiləmə prosesini operator
optik mikroskopda(7) müşahidə edir. İşıqlanmanı işıqlandı-
102
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
rıcıda(4) olan işıq diodları tərəfindən təmin edilir. Bütün
konstruksiyaların elementləri dayağa bərkidilmiş vəziyyətdə
olur. İynənin(1) itilənməsindən sonra saxlayıcı(8) ilə birlikdə
yuxarı qaldırılır və çıxarılır. İynənin hazırlanmasının texniki
xarakteristikası Cədvəl 4-1-də verilmişdir.
Şəkil 4-23. SZM üçün iynələrin hazırlanması qurğunun konstruksiyası
Cədvəl 4-1. İHQ-in texniki xarakteristikası
S/N ADI Ölçüləri
1
İynənin ucunun əyrilik radiusu 0,2 mkm
2
İynələrin hazırlanma materialları:
volfram naqil
diametri 0,1 mm
3
Şaquli istiqamətdə yerdəyişmə
diapazonu
25 mm
4 Gərginlik mənbəyi
6-9 V / 0,5 A dəyişən
cərəyan
5
Optik mikroskopun böyütməsi x20
6
İynələrin hazırlanmasına tələb
olunan vaxt
2 dəqiqə
z) Kütləşmiş zondların bərpası üsulu
Əgər zond kütləşibsə onu aşağıdakı alqoritmə uyğun olaraq
itiləmək lazımdır:
103
“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
1.
İHQ komplektə daxil olan adapterə qoşmalı, adapteri isə
220V elektrik şəbəkəsinə qoşmalı.
2.
İtiləmənin sönmüş rejimdə olmasını dəqiqləşdirilməli(qır-
mızı lampa yanmır).
3.
Həlqəni(2) saxlayıcıdan(8) İHQ tərəf döndərilir.
4.
Zond çeviricini saxlayıcıya 8 qoymaq.
5.
Zond çeviricisi qoyulmuş saxlayıcını elə vəziyyətə
gətirilməlidir ki, zond(1) şaquli vəziyyətdə olsun.
6.
Zond çeviricisi qoyulmuş saxlayıcı 8 vintlə(3) yuxarı elə
vəziyyətə gətirilir ki, zondun sonu(1) həlqədən(2) yuxarıda
olsun.
7.
Həlqə elə döndərilir ki, o zondun(1) altında yerləşsin.
8.
Optik mikroskopun vəziyyəti elə nizamlanır ki, həlqə(2)
mikroskopun fokusunda görünsün (Şəkil 4-24).
Şəkil 4-24. Optik mikroskopda alınmış İHQ həlqə və zondun ucu
9. Həlqə(2) əvvəlki vəziyyətə gətirilir və Şəkil 4-25-də
göstərildiyi kimi Petri fincanındakı 5%-li KON məhluluna
salınır. Bunun üçün məhlul mayesinin səthini həlqəyə
toxundurmalı və fincanı aşağı salmalı. Həlqədə məhlul
104
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
damcısı əmələ gələcəkdir.
Şəkil 4-25. Həlqədə qələvi məhlul damcısının əmələ gəlməsi
10. Yenidən həlqəni döndərərək zondun(1) altında yerləşdirə-
rək zond iynəsini aşağıya endirməli(Şəkil 4-26). Bunun
üçün vintini(3) o vaxta qədər fırlatmalı ki, iynənin ucu
qələvi məhlulun səthinə toxunsun. Optik mikroskopda iynə
ilə qabarma müşahidə olunacaqdır (Şəkil 4-26).
Şəkil 4-26. İynənin ucu maye səthinə toxunarkən yaranmış qabarma
11. Əmələ gələn qabarmanı saxlamaq şərti ilə iynəni ehtiyatla
elə qaldırmalı ki, ucu əsas mayenin səthindən yuxarıda
olsun(və bu zaman qabarma qalsın). Bu onun üçün
zəruridir ki, itiləmə prosesində hazırlanan zondun ucu
qabarmaya toxunmuş olsun.
12. İynələrin itilənmə prosesi. Bu zaman lampa işıqlanacaq və
105
“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
maye “qaynamağa” başlayacaq (Şəkil 4-27). Qabarmaya
toxunan iynənin ucunu itilədikdən sonra, qələvi məhlulun
səthi zondla elektrik kontaktını itirir və “qaynama” prosesi
sona yetir (Şəkil 4-27).
Şəkil 4-27. Qələvi məhlulunun səthi ilə zond (solda) arasında
elektrik cərəyanı keçən zamanı “qaynama” prosesi.
Zond iynəsinin hazırlanmasından sonra “qaynama”
prosesinin sönməsi momenti (sağda)
13. İHQ söndürməli.
14. Zond yerləşdirilmiş saxlayıcı(8) vintlə(3) yuxarıya qaldı-
rılmalı.
15. Saxlayıcıdan zondu çıxarmalı.
16. Zondun iynəsini su ilə yuyaraq və onu qurutmalı.
17. SZM də işləmək qaydalarına uyğun olaraq zondu saxlayıcı
hissəyə qoyub rezonans pikin olmasını yoxlamalı. Əgər pik
kifayət qədər amplituda malik deyilsə, zondu təkrarən
qurutmalı, yəni nəmliyin qalması pyezoelektrik elektrodları
elektrik şuntlamaya səbəb olur.
18. Əgər iynələrin hazırlanması aparılmırsa, onda qələvi məh-
lul olan həlqəni çıxarıb su ilə yuyun.
19. İHQ elektrik şəbəkəsindən ayırmalı.
I) Yeni zondun hazırlanması üsulu
1. Yeni zondun hazırlanması üçün universal qarşılıqlı təsir
çeviricisi götürülür. Köhnə iynəni pyezoborudan pinset vasi-
təsilə fırladaraq çıxarılır. Əgər lazımdırsa pyezoborunun so-
106
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
nunu təmizləmək.
2. Volfram naqil dolaqdan uzunluğu 10-15mm hissə kəsmə-
li(Şəkil 4-28).
Şəkil 4-28. Yeni zondun hazırlanmasına hazırlıq
3.Pinsetlə iynənin sonunu Şəkil 4-29 göstərildiyi kimi
pyezoboruya daxil etməli. Hazırlanmış iynənin əyilmiş
sonunun ölçüsü pyezoborunun diametrindən çox az böyük
olmalıdır.
Şəkil 4-29. Yeni zond üçün hazırlanmış iynənin əyilmiş hissəsi
4. Pyezoboruya iynənin əyilmiş sonunu ehtiyatla qoymalı(Şə-
kil 4-30). O pyezoboruda volfram naqilin elastikliyinə görə
möhkəm yerləşəcəkdir.
Şəkil 4-30. Pyezoboruya qoyulmuş iynə
5.Göndərilən komplektə daxil olan adapterə İHQ qoşmalı,
adapteri 220V elektrik şəbəkəsinə qoşmalı.
6.İtiləmə rejiminin sönməsini dəqiqləşdirmək(qırmızı işıq yan-
mır).
107
“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
7. Həlqəni(2) saxlayıcıdan(8) İHQ-yə döndərmək (Şəkil 4-23).
8.Yeni zond hazırlamaq üçün çeviricini iynə ilə birlikdə
saxlayıcıya(8) qoymalı.
9.Saxlayıcını çevirici ilə birlikdə elə vəziyyətə gətirmək
lazımdır ki, iynə(1) şaquli vəziyyətdə olsun.
10.Saxlayıcını çevirici ilə birlikdə vinti(3) yuxarıya qaldıraraq
elə vəziyyətə gətirilir ki, iynənin sonu(1) həlqədən(2)
yuxarıda olsun.
11. Həlqəni(2) elə döndərin ki, o iynənin altında olsun.
12. Optik mikroskopun vəziyyəti dəqiqləşdirilərək onu elə
vəziyyətə gətirilir ki, həlqə(2) mikroskopunun fokusunda
olsun (Şəkil 4-24).
13. Həlqəni(2) döndərərək əvvəlki vəziyyətə gətirməli və
içərisində 5%-li KON məhlul olan Petri fincanına salaraq
köpüyü almalı (Şəkil 4-25). Bunun üçün məhlulun səthini
həlqəyə toxundurmaq və fincanı aşağı salmaq lazımdır. Bu
zaman həlqədə məhlulun köpüyü yaranacaqdır.
14. Yenidən həlqəni naqilin(1) altına gətirmək və naqili damcı
köpüyünə endirmək. Bu zaman iynə qələvi məhlula tama-
milə daxil olmalıdır.
15. Köpük və zond çeviricisi arasında təqribən 2-3 mm məsafə
saxlamaq. Yeni hazırlanacaq iynənin uzunluğu 5-7 mm ola-
caqdır.
16. İtiləmə prosesinə başlamaq. Bu zaman lampa işıqlanacaq
və maye məhlul “qaynamağa” başlayacaq(Şəkil 4-27).
17. Optik mikroskopda itiləmə prosesini müşahidə edərək
periodik olaraq itiləmə bağlayıcısını yandırıb söndürməli.
Bu zaman volfram naqilin köpük daxilində itilənməsini
mü-şahidə olunur.
İtilənmənin ölçüsünə görə, itilənən hissə nazikləşir, naqil
kəsilərək aşağı hissəsi dayağa düşür və avtomatik olaraq
elektrik dövrəsi və iynənin hazırlanması(itilənməsi) prosesi
dayandırılır.
DİQQƏT! İynənin hazırlanmasını diqqətlə izləyin və aşağı
108
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
hissənin 1 kəsilib düşdükdən sonra cərəyanı dərhal söndürün.
18. Zond qoyulmuş saxlayıcını 8 vintlə 3 yuxarıya qaldırmaq.
19.
Saxlayıcıdan zondu çıxarmaq.
20.
Zondun ucunu su ilə yumaq və qurutmaq.
21. Zondu saxlayıcı hissəyə qoyub SZM-lə iş qaydalarına
əsasən rezonans pikin yaranmasını yoxlamalı. Əgər pik
kifayət qədər amplituda malik deyilsə, zondu təkrar qurut-
malı. Zondda qalmış nəmlik pyezoelementin elektrodlarını
elektrik şuntlaya bilər.
22. İtiləmə aparılması lazım deyilsə, məhlullu həlqəni çıxarıb
və onu su ilə yumalı.
23.
İHQ-ni elektrik şəbəkəsindən ayırmalı.
4.3. Metodik göstərişlər
NanoEducator skanedici zond mikroskopunda işləməyə
başlamazdan əvvəl cihazın istifadəçilərə rəhbərlik sənədini
öyrənmək zəruridir.
4.4. Tapşırıq
I hissə
1. Skanedicinin rezonans tezliyinin ölçülməsi.
1.1. NanoEducator proqramını bağlayın və elektron bloku
söndürün.
1.2. Əgər zond yuvadadırsa, zond çeviricini ölçən başlığı
yuvasından çıxarmalı. Altlıqda nümunə varsa onu çıxarmalı.
1.3. İdarəetmə blokundan ölçən başlığa verilən skanedicinin
idarə olunması gərginlik kabeli başlıqdan ayırmalı.
1.4. Onun yerinə ölçən başlığa xüsusi birləşdirici kabeli
birləşdirin. Birləşdirici kabelin ikinci sonunu qarşılıqlı təsir
çeviricinin yuvasına birləşdirməli. Bu kabel generatordan veri-
lən gərginliklə skanedicinin amplitud-tezlik xarakteristikası-
nı(ATX) təyin etmək üçün istifadə edilir. Eyni ilə bu zondun
ATX-sini ölçmək üçün istifadə olunur. Skanedicinin ATX-nin
ölçmə sxemi Şəkil 4-31-də göstərilmişdir. Skanedicinin Z
109
“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
pyezoelementinə generatordan gərginlik verilir. Mexaniki
rəqslər skanedicinin X pyezoelementi oxu istiqamətində elek-
trik yüklərinin yaranmasına səbəb olur. Bu siqnal gücləndirilir
və ölçmə sxeminə daxil olur.
Şəkil 4-31. Skanedicinin amplitud-tezlik xarakteristikasının ölçmə
sxemi
1.5. Elektron blokunu elektrik şəbəkəsinə birləşdirməli və
cihazı idarə edən NanoEducator proqramını isə salmalı.
Skanedici qüvvə mikroskopu (SQM) rejimini seçməli.
1.6. Alətlər panelindəki Adjust düyməsini, sonra isə
Resonance düyməsini sıxmaq. Daha sonra Manual
rejiminə daxil olub RUN düyməsini sıxmalı. Nəticədə
qarşılıqlı təsir qüvvəsinin çeviricisində olduğu kimi,
skanedicidə yaranan rəqslərin amplitud-tezlik xarakteris-
tikası ölçüləcəkdir.
1.7. Skanediciyə uyğun alınmış ATX-ə görə rezonans piki
təyin edilir. Generatordan həyəcanlanma gərginliyinin
qiymətini dəyişməklə, rezonans pikinin hündürlüyü
dəyişmək olur. Əgər bu baş vermirsə, başqa tezlik
intervalında skanedicinin rəqsinin rezonansına uyğun
pikin axtarışına cəhd edin. Razılaşmaya görə rəqs
amplitudunun dəyişməsi 3-dən 17 Khs(Frequency range
10 vəziyyətinə keçirmək) tezlik intervalında baş verir.
Frequency range 2 və 50 qiymətlərində rəqs amplitudu-
nun tezlikdən asılı qrafikinin qurulması. Skanedicinin
110
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
rəqslərinin rezonans pikinin alınmış ATX nəticələrini
saxlamalı.
1.8. Yük olan skanedicinin rezonans tezliyinin ölçülməsini
təkrar edin. Kütlənin artması nəticəsində skanedicinin
rəqs sisteminin rezonans piki başqa tezlik intervalına
yerini dəyişəcək, bu zaman maksimumun forması
dəyişməyəcək. Skanedicinin rəqslərinin rezonans pikinin
olduğu tezlik intervalındakı ATX nəticələrini saxlayın.
Alınmış nəticələri müqayisə edin.
1.9. NanoEductor proqramını bağlamaq və Elektron bloku
söndürmək.
1.10. Qarşılıqlı təsir zond çeviricisini yuvasından və ölçmə
başlıqdan kabeli ayırın. Onun yerinə elektron blokdan
skanediciyə verilən cərəyan kabelini birləşdirin.
2.TGX1 test qəfəsinə görə skanedicinin qeyri-xətliliyinin təyini
2.1. TGX1 test qəfəsi nümunəsini altlığa qoymaq.
2.2. Zond çeviricisini ölçən başlığın yuvasına qoymaq.
2.3. NanoEducator cihazın idarəedici proqramını işlətmək.
Skanedici qüvvə mikroskopu (SQM) iş rejimini seçməli.
2.4. Zond çeviricisinin amplitud-tezlik xarakteristikasının
təyini və iş reyiminin qurulması.
2.5. Əl ilə vintin köməyi ilə zondun nümunəyə 1 mm məsafəyə
qədər yaxınlaşmasını həyata keçirməli.
2.6. Qarşılıqlı təsirin alınmasını aşağıdakı qiymətlərdə apar-
malı
- Amplitude Suppression = 0,3;
- Feed Back Loop Gain = 3.
2.7. Skanetmə pəncərəsini açmaq. Tədqiq olunan nümunə
haqqında əvvəlcədən verilmiş məlumatlar əsasında
skanetmənin zəruri parameterlərini daxil etməli.
2.8. Nümunə səthinin SZM şəkillərinin alınması. Alınmış
nəticələrin saxlanması.
2.9. Topoqrafiya ölçmələrini təkrar etməli. Bunun üçün
seçilmiş sahəni başqa mümkün (Area) sahə ilə əvəz
111
“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
edərək skanetməni təkrar etməli. Başqa oblasta keçərkən
və ya skanetmə oblastının ölçülərini dəyişərkən skanedici
pyezokeramikanın sürüşməsi ilə əlaqəli şəkildə xarakte-
ristik əyilmə müşahidə olunacaqdır. Bu zaman 2 dəqiqə
gözləmək lazımdır ki, skanetmənin nəticələrində təhrif-
lər minimal olsun. Bundan sora skanetməni yenidən
başlamalı. Alınmış şəkilləri saxlamalı.
2.10. Alınmış şəkillərin nizamlanması dəqiqliyini x, y və z
oxlarına görə skaetmənin dəqiqliyini, period və hündür-
lük elementlərinin test qəfəsinin nominal qiymətlərinə
görə qiymətləndirilməli.
2.11. Alınmış şəkillər üçün skanedicinin qeyri-xətliliyini təyini
etməli. Bu X və Y oxları üzrə xətlərdə birinci və sonuncu
periodda ölçmələrə görə difraksiya qəfəsinin periodunun
faizlə meyl etməsi əsaslanır.
2.12. Alınmış şəkillərdə qəfəsin bucaqlarının meyletməsinin
kvadratlarının
-yə nəzərən qiymətləndirməli.
o
90
3. Termodreyfin tədqiqi
3.1. Əks əlaqədən çıxmadan 1mkm
2
böyük olmayan sahə üçün
üfüqi hissədə SZM şəkillərin çəkilməsi.
3.2. Alınmış şəkili saxlamalı və alınma vaxtını qeyd etməli.
Şəkil üzərində xarakteristik məxsusiyyətləri qeyd etmək
lazımdır ki, yerdəyişməyə əsasən təkrar skanetmədə
termodreyfi təyin etmək mümkün olsun.
3.3. Skanetmənin parametrlərini dəyişməyərək skanetməni bir
neçə dəqiqə təkrar etməli, alınmış şəkilləri saxlamalı və
vaxtı qeyd etməli.
3.4. Tərkrar skanetmədə qeyd olunmuş xarakteristik xüsusiy-
yətləri tapın. Müxtəlif vaxt aralığında alınmış nəticələrdə
nümunədə eyni yerin koordinatlarını müqayisə edərək X
və Y oxları üzrə zond və nümunə qarşılıqlı termodreyfin
sürətini təyin edin (nm/s).
3.5. Təcrübə aparılan vaxt ərzində temperatur dəyişməsi
zamanı termodreyfin mümkün qiymətini qiymətləndirin.
112
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
Hesablanmış nəticələri eksperimental nəticələrlə müqayi-
sə edin.
II Hissə
4. TGT1 test qəfəsinə görə zond formasının təyini.
4.1. Altlıqda tədqiq olunan -TGT1 test qəfəsi nümunəsini
yerləşdirin.
4.2. NanoEducator cihazının ölçən başlığının yuvasına zond
çeviricisini yerləşdirin. Yavaşca sıxan vintlə bərkidin.
4.3. NanoEducator cihazının idarəedici proqramını işə salın.
Skanedici qüvvə mikroskopunun (SQM) iş rejimini seçin.
4.4. Zond çeviricisinin rezonansa uyğunluğunu yoxlayın.
Generator tərəfindən verilən amplitudun qiymətini mini-
mal götürməli(0 qədər ola bilər) və 50mV-dan böyük
olmamaq şərti ilə verilməsi məsləhət olunur. Zondun
rəqslərinin cavab amplitudunun kiçik qiymətlərində(<1V)
AM Gain əmsalını böyütmək məsləhətdir. Əgər qrafik
üzərində bir neçə piklər varsa, əlavə piklərin amplitudlarını
azaltmağa çalışın. Bunun üçün vint ilə çeviricinin sıxılma
dərəcəsini seçmək.
4.5. Əl ilə gətirmə vintinin köməyi ilə zondun nümunə səthinə
təqribən 1mm məsafəyə qədər yaxınlaşdırılmasını həyata
keçirməli.
4.6. Landing menyusuna daxil olun. Options pəncərəsində
Integrator Delay(izləmə sistemini qoşarkən skanedicinin
qalxması üçün tələb olun vaxt) 1000 ms qədər böyütməli
ki, yaxınlaşmanı ehtiyatlı aparmaq mümkün olsun.
Amplitud Suppresion qiymətini təqribən 0,2 götürün.
Bu ehtiyatlılıq iynənin ucunda və ya əymədə qarşılıqlı
təsirin alınması üçün edilir və bu zaman izləyən sistemin
işi dayanıqlı olmaya da bilər.
4.7. Run düyməsini sıxıb yaxınlaşmanı aparın. Qarşılıqlı təsir
alınandan sonra(OK düyməsi əmələ gəldikdə) qarşılıqlı
təsirin qiymətini 0,1-əqədər azaltmaq. Dəqiqləşdirmək
lazımdır ki, Z azalmır.
113
“Nanotexnologiyadan laboratoriya işləri”. Dərs vəsaiti
4.8. Skanetmə pəncərəsini açın menyuya daxil olub Scan
düyməsini sıxmalı. Skanetmənin zəruri parametirlərini
verin. TGT1 test nümunəsi üçün skanetmənin sürətini
1000 nm/s-dən böyük olmaqla verilməsi məsləhət görülür.
Skanetmənin addımını isə zondun iynəsinin ucunun
əyrilik radiusunun gözlənilən qiymətlərindən kiçik olması
məqsədəuyğundur(<100nm).
4.9. Nümunə səthinin topografiyasını almalı. Alınmış SZM
şəkillərini saxlamalı.
4.10. Zondun nümunə səthindən uzaqlaşmasını əvvəlcə avto-
matik Rising rejimində, sonra isə əl ilə təhlükəsiz
məsafəyə gətirməli.
4.11. NanoEductor cihazının ölçmə başlığının yuvasından
zond çeviricisini çıxarmalı.
5. Zondun elektrokimyəvi hazlanması
Yuxarıda verilmiş üsula uyğun olaraq zondun elektrokim-
yəvi itilənməsi və ya yenisinin elektrokimyəvi hazırlanma-
sını həyata keçirin.
6. Zondun formalarının TGT1 test qəfəsinə görə təkrar təyini
6.1. İtiləmədən və ya yeni zondu hazırladıqdan sonra TGT1
test qəfəsinə görə formaların təkrar təyinini Şəkil 4-27
kimi həyata keçirin.
6.2. Bir qrafikdə zondun (itilənmədən əvvəl və sonra) xətlərin
profilini qurun. Alınmış nəticələri müqayisə edin.
6.3. Zondla 10, 100 və 300 nm pilləli hündürlükləri
skanedərkən onun ayırdetməsini zondun kontaktının real və
zahiri görünən pilləli nöqtələri arasındakı məsafəyə görə
qiymətləndirin (Şəkil 4-15). Bu məsafə pilləli hündürlükdə
zondun diametrinə mütənasibdir.
4.5. Yoxlama sualları
1. Düz və əks pyezoeffekt nədir? Kvars misalında pyezoelek-
trik effekt anlayışını və pyezoelektrik mühərrikinin iş prin-
sipini aydınlaşdırın.
114
Skanedici zond mikroskopiyasında təhriflər
2. Pyezokeramika tərəfindən mümkün olan artefaktları aydın-
laşdırın: qeyri-xəttilik, histeresiz, sürüşmə, temperatur
dreyfi. Bunları hansı üsullarla azaltmaq olar?
3. Hansı növ skanedicilər tanıyırsız? SZM şəkillərində skan-
edicilərin əmələ gətirdiyi təhriflərin adlarını deyin.
4. SZM-də istifadə olunan zondların əsas növləri və onların
hazırlanması üsullarını sadalayın.
5. İdeal SZM zondunu təsvir edin. Səthlərin müxtəlif xüsu-
siyyətlərinin təsvirləri zamanı zondlar nə kimi təhriflər
əmələ gətirir?
6. NanoEducator cihazı üçün SZM zondlarının hazırlanması
qurğularını təsvir edin. Elektrokimyəvi itiləmə üsulu haq-
qında danışın.
115
Dostları ilə paylaş: |