Hisse 01 uz qabigi

PVD prosesi 

 

108 

 

lanmanın  səciyyəvi  xassəsi  ondan  ibarətdir  ki, 

o,  yüksək  buxarlanma  intensivliyində  (10

-3

 

q/cm

3

)    bərabərformalı  qat  və  yaxşı  birləşmə 

yaratmağa  imkan  verir.  Bu  üsulla  kompleks 

həndəsi  formaya  malik  olan hissələrin  bərabər 

qalınlıqda qatla örtülməsi çətindir. 

Karbid,  nitrid  və  ya  oksidlərdən  ibarət  bərk 

qatın yaradılması üçün substrat reaktiv qatlarla 

(N

2

,  CH

2

)  buxarlandırılır.  Bu  yolla  2Ti+C

2

H

2

 

birləşməsindən  2TiC  bərk  örtüyü  və  H

2

  qazı 

əldə  olunur.  Hissəciklərinin  enerjisi  2eV-dan 

aşağı olan, sadə reaktiv buxarlanmada birləşmə 

möhkəmliyi çox aşağı olur. 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Şəkil 1. Vakuum buxarlandırıcı qurğu 

 

Elektron işıq şüası ilə buxarlanma (Arc-PVD) 

 

Arc-PVD  üsulunda  material  işıq  şüasının 

köməyi  ilə  yüksək  vakuumda  buxarlanır  və 

ionlaşır.  İşıq  şüası  təsadüfi  və  ya  idarə  olunan 

şəkildə  katod  kimi  işləyən  buxarlandırma 

mənbəyi üzərində hərəkət edir. Üsul 90%-ə  

qədər  ionlaşma  dərəcəsi  ilə  səciyyələnir  və 

bununla  yüksək  keyfiyyətli  (sıx  strukturlu  və 

birləşməli)  örtük  qatının  alınması  üçün  əl-

verişli şərait yaradır.   

İşığın  yanma  mənbəyinin  yüksək  enerji 

sıxlığı  səbəbindən  material  partlayışla  buxar-

lanır  və  kənarlara  dağıdılır,  eyni  zamanda 

ərinti  şəklində  hissəciklər  materialdan  qopur-

lar.  Qopan  maye  hissəciklər  örtük  təbəqəsinə 

damcı  şəklində  daxil  olaraq  xətalar  yaradırlar. 

Bu,  Arc-PVD  üsulunun  çatışmayan  cəhətidir. 

Bu  xətanı  prosesin  parametrlərinin  optimal-

laşdırılması ilə minimallaşdırmaq mümkündür.  

Katod  işıq  qövsü  ilə  buxarlanma  örtük 

materialının  elektrik  keçiriciliyini  əsas  zəmin 

kimi  tələb  etdiyindən,  bu  üsulla  oksid  qatı 

çəkmək mümkün deyil.  

 

Katodun tozlandırılması ilə buxarlanma 

 

Aşağı   təzyiq  plazmasında inert  qaz  (məsələn: 

Arqon)    yüksək  gərginliyin  verilməsi  ilə  ion-

laşdırılır.  Müsbət  yüklənmiş  ionlar  katod  kimi 

prosesə  daxil  edilmiş  örtük  materialına  tərəf 

təcillənir və orada impuls mübadiləsi nəticəsin-

də  örtük  materialının    atomlarını,  atom  qrup-

larını və molekulalarını təcilləndirir (şəkil 2).   

 

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Şəkil 2. Katodun tozlanması PVD üsulu 

 

Vakuum  buxarlanmadan  fərqli  olaraq  bu 

halda proses qazından istifadə olunur (çox hal-

larda arqon qazı). Proses qazı işçi sahəyə 0,1÷1 

Pa  təzyiq  altında  daxil  edilir.  Bu  təzyiqdə 

hissəciklərin orta dalğa uzunluğu bir millimetr-

---

PVD prosesi 

 

109 

 

dən  kiçik  olur.  Örtük materialına  1÷5  kVt gü-

cündə  elektriuk  gərginliyi  verdikdə  o  plazma 

halına  gəlir.  Plazma  katod  rolunu  oynayan 

örtük  materialı  ilə  anod  rolunu  oynayan 

substrat arasında yanır. Plazma ion, elektron və 

yüklənməmiş  atomlardan  ibarət  olur.  Buxar-

lanmanın  bu  növü  universal  tətbiq  olunur. 

Material  termiki  qızmayaraq,  yalnız  impuls 

təsiri  ilə  buxarlanır.  Nəticədə  müxtəlif  ərimə 

temperaturuna  malik  materialların  (substrat  və 

örtük materialı) istifadəsinə yol açılır. Bununla 

təkcə metallik örtük yox, süni izoləedici örtük-

lərin çəkilməsi də mümkündür.  

 

Lazerlə buxarlandırma  

 

Lazerlə  buxarlandırma  ilə  aparılan  PVD  pro-

sesində  örtük  qatları  lazer  ablyasiyası  sayə-

sində  baş  verir.  Örtük  materialının  üzərinə 

impuls  şəklində  verilən  lazer  şüaları  onu 

qızdıraraq  plazma  şəklinə  salır.  Proses  zamanı 

örtük  materilı  və  əsas  material,  hər  ikisi  va-

kuum  çənində  yerləşdirilir.  Örtük materialı  la-

zer  şüası  ilə  yüksək  intensivliklə  (~100 

MW/cm

2

)    şüalandırılır  və  buxarlandırılır.  Bu 

zaman örtük materialı ionlaşır və təcillənidirilir 

(10÷100 eV/Ion). Prosesin yuxarı təzyiqdə (>1 

mbar) aparılması sayəsində qaz fazasında olan 

ionların hissənin səthinə kondensasiyası müm-

kün olur. 

Lazerlə icra  olunan  PVD  üsulunun üstün  cə-

həti  ondan  ibarətdir  ki,  substratın  üzərinə  çö-

kən  materialın  həcmini  lazer  impulsları  ilə 

dəqiq  idarə  etmək  olur.  Üsulun  digər  üstün 

cəhəti  ondan  ibarətdir  ki,  mürəkkəb  kimyəvi 

tərkiblər  dəqiq  ötürülə  bilir.  →Çoxlaylı  ör-

tüklərin  çəkilməsində  də  bu  üsuldan  istifadə 

etmək əlverişlidir. 

 

(alm. das PVD-Verfahren, ingl. PVD-process) 

 

Pyezoelektrik  senzor  mexaniki  gücü  elektrik 

siqnalına  çevirən  ölçmə  çevricisidir.  Onun  iş-

ləməsi  dielektriklərdə  mexaniki  gərginliyin  tə-

siri  altında  yaranan  qütbləşmə  (pyezoelektrik 

effekt)  və  elektrik  sahəsinin  təsirindən  me-

xaniki 

deformasiyanın 

yaranmasına 

(əks 

pyezoelektrik effekt) əsaslanır. Şəkil 1-də bir  

 

 

pyezoelektrik  senzorun  sxemi  göstərilmişdir. 

Təsir  edən  təzyiq  altında  senzorun  lövhəsinin 

daxili və xarici səthlərində elektrik yükləri ya-

ranır.  Əmələ  gələn  elektrik  hərəkət  qüvvəsi 

təzyiqlə  mütənasib  olaraq  dəyişir.  Bu  sen-

zorların  tətbiqi  yükləmənin  təsir  vaxtı  qısa 

olduqda  əlverişlidir.  Əks  halda,  əgər  qüvvə 

tədricən  təsir  edərsə,  onda  elektrik  cərəyanın 

gövdəyə  keçməsi  baş  verir  ki,  bu  da  xətaların 

yaranmasına gətirib çıxarır.  Bu senzorların üs-

tün  cəhəti  ondan  ibarətdir  ki,  onlar  yüksək 

dinamikliyə malikdir və bir neçə Hs-dən onlar-

la  mHs-ə  qədər  aralıqda  yırğalanan  təzyiqin 

qəbuluna imkan verir.  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Şəkil 1. Pyezoelektrik senzorun sxemi 

p-təzyiq,  1-pyezolövhələr,  2-dielektrik  qayka,  3-

elektrik  çıxışı,  4-gövdə,  5-izolyasiya.  6-metalik 

elektrod 

 

Bu senzorlar maşınqayırmada qüvvə, titrəmə 

və deformasiyaların ölçülməsində istifadə  edi-

lir.  Material  kimi  kvarts  (SiO

2

)  daha  geniş  ya-

yılmışdır.  

 

(alm.  piezoelektrischer  Sensor,  ingl.  Piezoelectric 

sensor)

 

 

---