Hisse 01 uz qabigi

Raster elektron mikroskopu  

 

112 

 

İkin  elektron  dəsti  atomlarla  qarşılıqlı  təsir 

zamanı  öz  enerjisinin  bir  hissəsini  nümunənin 

elektronlarına  verə  bilər.  Bunun  nəticəsində 

elektronların  qopması  baş  verir.  Qopan  elek-

tronlar ikinci dərəcəli adlanırlar. İkinci dərəcəli 

elektronlar  kiçik  enerjiyə  malikdirlər  (təx-

minən 50 eV). İlkin elektron dəsti çoxlu sayda 

ikinci dərəcəli elektronların yaranmasına şərait 

yaradır.  İkinci  dərəcəli  elektronların  enerjisi 

kiçik  olduğundan  onların  xaricə  çıxışı  yalnız 

səthin  üst  qatında  baş  verə  bilir  (10  nm-dən 

kiçik).  Elektronlar  kiçik  kinetik  enerji  daşı-

dıqlarından,  onlar  kiçik  potensiallar  fərqi 

sayəsində  asanlıqla  meyillənirlər.  Bunun  kö-

məkliyi  ilə  detektor  çoxlu  sayda  elektron  yığa 

bilir  və  yaxşı  siqnal/küy  nisbətli  yüksək-

keyfiyyətli  şəkil  əldə  etməyə  imkan  verir. 

Şəklin sıxlığı 1nm həddində yerləşir.    

İkinci  dərəcəli  elektronlar  səthin  üst  qatı 

tərəfindən qenerasiya edildiyindən onlar səthin 

halına  çox  həssasdırlar.  Minimal  dəyişmələr 

yığılan elektronların sayında özünü əks etdirir. 

Beləliklə,  bu  növ  elektronlar  özlərində  nümu-

nənin  səthinin  relyefinin  daşıyıcılarına  çevri-

lirlər.  Onlar  nümunənin  daxilindəki  tərkibə 

qarşı az həssasdırlar.      

   

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Şəki2.  Sferik  başlı  mikrofrez  alətinin  REM 

şəkli 

 

Şəklin  yaradılması  üçün  televizorlardan  mə-

lum  olan  kineskopdan  istifadə  edilir.  Təyin 

olunan  elektronlar  elektron  kollektoru  tərəfin-

dən  tutularaq  siqnallara  çevrilirlər.  Siqnallara 

proporsional  olaraq  gücləndiricinin  köməyi  ilə 

ekranda  işıqların  parlaqlığı  tənzim  olunur. 

Müasir 

mikroskoplarda 

artıq 

siqnalların 

rəqəmsal təsvirindən istifadə edilir.  

 Hal-hazırda tətbiq olunan REM cihazlarında 

diametri  25  nm  və  hündürlüyü  15  nm  nümu-

nənin  səthini    ölçmək    mümkündür  (şəkil  2). 

Cihazın  daxilinə  nümunənin  yerləşdirilməsi 

vakum  kanalı  vasitəsilə  həyata  keçirilir.  Nü-

munin ölçüsünə qoyulan tələblər aşağıdır. Ölç-

mə  zamanı  əsas  diqqət  hissənin  stabil  bər-

kidilməsi,  fotoqrafik  sənədləşdirmə  və  nümu-

nənin yaxşı elektrik keçiriciliyinə yönəldilir.   

 

(alm.    das  Rasterelektronenmikroskop,  ingl.  Scan-

ning electron microscope) 

 

Rayber əvvəlcədən açılmış deşiklərin təmiz və 

dəqiq  mexaniki  emalında  tətbiq  olunan  metal-

kəsən  alətdir.  Rayber  əl  və  ya  maşınla  tətbiq 

olunan  olaraq  iki  növə  bölünür.  Bundan  əlavə 

rayberlər  emal  olunan  deşiklərin  formalarına 

görə  -  silindrik,  konik  və  pilləli;  dişlərin  for-

masına  görə  -  düz  və  spiral;  bərkitmə üsuluna 

görə  -  quyruqlu  və  deşikli;  konstruksiyasına 

görə - bütöv və yığılabilən, lehimlənmiş, dişlə-

rin  mexaniki  və  ya  sıxma ilə  bərkidilməsi,  ge-

nişlənən və üzən olurlar (şəkil 1). 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

. 

 

 

 

Şəkil 2. Müxtəlif rayber alətləri 

a-  spiral  dişli  əl  rayberi;  b-  sazlanabilən  əl  rayberi; 

c-  spiral  dişli  maşın  rayberi;  d-  morze  quyruqlu 

maşın rayberi; e – bərk xəlitə lövhəli maşın rayberi 

 

Rayberlərin  dişləri  iti  pardaqlanır,  kalibr-

ləyici  hissədə  eni  0,1÷0,3  mm  olan  faska 

qoyulur.  Kalibrləyici  hissənin  sonu  deşiyin 

divarı  ilə  sürtünməni  azaltmaq  məqsədi  ilə

---

Rayber 

 

113 

 

 

əksinə  konusluluq  ilə  hazırlanır.  Şəkil  2-də 

çoxtilli  rayberin  kəsən  hissəsinin  həndəsi  ele-

mentləri göstərilmişdir. 

Tezkəsən  alət  poladından  hzırlanmış  əl  ray-

berlərdə baş plan bucağı  

ϕ

= 1÷1,5°, özlü me-

tallarda  deşikləri  emal  edən  maşın  rayber-

lərində 

ϕ

= 12÷15°, yuvaları emal edən rayber-

lərdə 

ϕ

=  45°  olur.  Bərk  xəlitə  rayberlərində 

plan  bucağının  qiyməti 

ϕ

=  30÷45°  arasında 

dəyişir.  Rayberlərdə  dal  bucaq  emal  olunan 

metalın  mexaniki  xassələrindən,  tələb  olunan 

dəqiqlik  və  təmizlik  sinfindən,  həmçinin  de-

şiyin diametrindən asıı olaraq 6÷15° həddində 

götürülür.  Konstruksiya  poladlarını  emal  edən 

rayberlərdə  

α=6

÷10°, aluminium  və  onun  xə-

litələrinin  emalında  isə 

 α=10

÷15°  buraxılır. 

Qabaq  bucaq  emal  şəraitindən  asılı  olaraq  

γ=0

÷10°  qiymətlərini  alır.  Rayberlərdə 

ω

  bu-

cağı  emal olunan materialdan asılı olaraq nis-

bətən  böyük həddə dəyişir: 

ω

 = 18÷30°. Əsas 

kəsən  tilin  dal  üz  üzrə  yeyilməsi  h

d

=0,4-0,7 

mm həddində buraxıla bilir.  

 

  

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Şəkil 2. Rayber alətinin kəsən hissəsinin həndəsəsi 

 

(alm. der Reiber, ingl. Reamer) 

 

Rayberləmə  deşikdə  düzgün  forma,  yüksək 

ölçü  dəqiqliyi  və  kələkötürlük  almaq  üçün 

rayber  aləti  (→Rayber)  tətbiq  edilən  tamam-

lama  (təmiz  emal)  mexaniki  emal  üsuludur. 

Rayberləmədə  qalınlığı  maksiumum  0,5  mm 

olan pay çıxarılmaqla, deşikləri 6-7-ci dəqiqlik 

kvalitetləri  və  Ra

≤

0,32  mkm  təmizliyində  ha-

zırlamaq  mümkündür.  Xüsusi  hallarda  kəsi-

cilik qabiliyyəti yüksəldilmiş alətərin tətbiqi ilə 

bu  parametrləri  daha  da  yaxşılaşdırmaq  olur. 

Proses  yalnız  soyuducu-yağlayıcı  mayenin 

tətbiqi ilə aparılır.  Təmiz rayberləmədə kəsmə 

dərinliyi 0,5÷0,25 mm-i keçmir. Rayberləmədə 

kəsmə parametrləri şəkil 1-də verilmişdir.  

        

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Şəkil 1. Rayberləmədə kəsmə elementləri 

 

Kəsmə  rejimləri  rayber  alətinin  növündən 

asılı  olaraq  müxtəlif  olur.  Bir  tilli  alətlərdə 

nisbətən  aşağı  veriş  verməklə  böyük  kəsmə 

sürətlərində  (poladın  emalında:  v=25÷90 

m/dəq)  emal  aparmaq  mümkündür.  Çoxtilli 

rayberlər  isə  yalnız  aşağı  kəsmə  sürətlərinə 

(poladın  emalında:  8÷12  m/dəq)  imkan  yara-

dırlar.  Bunun  səbəbi  yüksək  kəsmə  sürətlə-

rində  aparıcı  haşiyələrin  qızması  və  nəticədə 

alətin  yeyilməsi  sayəsində  səthlərin  keyfiy-

yətinin aşağı düşməsi ilə bağlıdır. Bir tilli alət-

lərdə  isə  alətin  kəsən  hissəsini  optimal  ha-

zırlamaq  mümkün  olur  ki,  bu  da  əlverişli 

kəsmə şəraitinə imkan yaradır. Verişin qiyməti 

tillərin sayından asılı olaraq alınır. Bir tilli alət-

lərdə verilən veriş yalnız bir til tərəfindən yeri-

nə  yetirildiyi  halda,  çoxtilli  rayberlərdə  bu, 

tillər arasında bölünür. Bir tilli rayberlərdə po-

lad üçün veriş sürəti 0,1÷0,35 mm/dövr arasın-

da,  çoxtillilərdə  isə  0,2÷1  mm/dövr  arasında 

yerləşir.  Verişin  seçilməsinə rayberin  plan  bu-

cağı bir başa təsir edir.  

 

(alm. das Reiben, ingl. Reaming) 

 

Reaktiv  mühərrik əslində →qaz turbini olub, 

geriyə  təkanvermə  prinsipi  ilə  işləyir.  Reaktiv 

mühərrikə  ətrafdan  daxil  olan  hava  yanacaq

---